熱導式氣體傳感器用于集成電路制造中電子氣體濃度檢測

鳳凰火

近年來，隨著電子行業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體在半導體行業(yè)中的地位日益突出。電子特種氣體在集成電路制造中應用廣泛，涉及很多制造環(huán)節(jié)。其中，惰性氣體主要用作保護氣體，常用于高溫烘烤或清洗過程中，如氮氣、氬氣、氦氣等。
作為集成電路制造的關鍵材料，隨著下游工業(yè)技術的快速迭代，電子特種氣體的精細化程度不斷提高，尤其是在純度和精度方面。比如純度方面，一般工業(yè)氣體要求在99.99%左右，但在先進集成電路制造過程中，要求氣體純度在6N(99.9999%)以上。

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集成電路產業(yè)是先進制造業(yè)的基礎產業(yè)，下游應用覆蓋汽車、通信、電器、計算機、航空航天、軍工、光伏等主要行業(yè)。半導體集成電路技術的進步和產業(yè)的發(fā)展，催生和推動了物聯(lián)網、人工智能、大數據、工業(yè)互聯(lián)網等新興產業(yè)。
說到集成電路，就不得不提“硅”。硅是集成電路生產中最重要的原材料，硅片市場約占整個半導體材料市場的三分之一。目前，90%以上的集成電路芯片都是以硅片為襯底的?？梢哉f，硅是集成電路的承載基礎。
在集成電路制造過程中，經常會用到高純電子氣體，如N2、H2、O2、Ar、he等，常用于高溫熱退火、保護氣體、清洗氣體等。此外，硅生產設備的單晶爐也離不開惰性氣體。單晶爐是在惰性氣體(主要是氮氣和氦氣)環(huán)境下，用石墨加熱器熔化多晶硅等多晶材料，用提拉法生長無位錯單晶硅的一種設備。在單晶硅的實際生產中，它對控制硅晶體的溫度和質量起著關鍵作用。

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電子氣體的使用也不是隨心所欲的，不同的使用環(huán)境對濃度有不同的要求。這就需要對電子特氣濃度進行監(jiān)測，工采網技術工程師推薦使用熱導式氣體傳感器來檢測電子特氣濃度。工采網代理的多個品牌的熱導式氣體傳感器如以下幾款：
德國HLP 熱導式氣體傳感器 - TCS208F，采用先進的 MEMS 加工技術生產，利用被測組份和參考氣體的熱導系數不同而響應的濃度型傳感器。
瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 - MTCS2601，基于帕拉尼原理的真空度檢測，需要超低功耗，長壽命和免維護。
荷蘭Xensor 高速響應熱導式氣體傳感器 - XEN-5320-ALU，傳感器探頭外露，響應速度超快，T90響應時間< 1 s，可用于醫(yī)療、R&D和工業(yè)環(huán)境中，氫氣H2、氦氣He、二氧化碳CO2、氮氣N2及甲烷CH4氣體混合的監(jiān)控和泄露檢測。